O2供給停止後のSi(111)表面酸化状態変化のリアルタイム光電子分光観察

抄録

Si(111)表面の室温初期酸化過程のリアルタイム光電子分光測定から、酸化開始後に急増した仕事関数はO₂停止後に減少する が、バンドベンディングの変化は小さいことが分かった。これより準安定吸着酸素分子O₂*の解離過程において欠陥発生が少ないこと が示唆された。O₂*解離過程がO₂供給停止した時の酸化膜被覆率へどのように依存するかを系統的に調べ、 酸素吸着状態の変化をXPSで解析した。