RHEED phi scan 3次元逆格子マッピングによるSi(001)表面上に成長した鉄シリサイドドーム島の結晶構造解析

抄録

現在、Ｓｉ（００１）２ｘ１清浄表面にFeを4ＭＬ 程度蒸着し、蒸着直後及び加熱後のＲＨＥＥＤ観察を行い、形成される鉄シリサイドの構造を解析している。 ＲＨＥＥＤ透過パターンの面方位 角スキャンによる３次元逆格子空間マップを作成し、特定条件で作製した結晶構造について述べる予定である。