物質パラメータをあまり用いない電子分光スペクトルの物質固有バックグラウンドの決定方法

抄録

分析対象に関する知識が限定された状況でも非弾性バックグラウンド解析が可能な手法を開発している。このアプローチの必要性は、表面分析の本来の目的が組成や構造が不明な試料の分析であることから明らかである。本講演では、IMFPのみが既知である場合、バックグラウンド最適化法を用いて試料固有のバックグラウンド形状やピーク強度を取り出す方法を述べる。