水素処理による酸化チタンナノチューブ微小水素ガスセンサの特性への影響

抄録

ガスセンサは幅広い分野で応用が期待される重要なデバイスであり、小型化、低消費電力化、高機能化が求められている。これらを実現するためには、センサの微細化、集積化が不可欠である。そこで、我々は、局所的に陽極酸化することにより酸化チタンナノチューブを電極間の微小領域に形成し、微小水素ガスセンサを作製し、被検ガスである水素に対する安定性を向上させるために、水素雰囲気下での熱処理を行い、その評価を行った。