Si(001)表面上のFeシリサイドナノシートの構造

抄録

Si(001)2x1清浄表面上にある条件でFe蒸着、加熱処理を施すと表面全面を覆うc(2x2)２次元島が形成される。STM観察よりこの２次元島はステップをまたぐ滑らかなナノシート状の構造を持っていると予想されたため、断面TEM観察を行ったところ、確かにその様なナノシートの存在が明確になった。さらにSTEMよりこのナノシートはβ-FeSi2構造をもつことが明らかとなった。講演ではこれらSTM・TEM結果を報告する。