減圧CVDにおける希釈原料ガスの分圧決定機構

抄録

減圧CVDにおける希釈原料ガスの分圧決定機構を実験的に検討した。分圧決定には、CVD容器内の圧力は全く関係せず、現実に真空排気が行われている真空ポンプの吸気口における圧力（真空度）が分圧決定要因であることを明らかにした。