表面科学学術講演会要旨集
2015年真空・表面科学合同講演会
セッションID: 2P06S
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12月2日(水)
Si(001)基板上のβ-FeSi2(100)歪みナノカーペットの逆格子解析
*竹本 昌平石田 拓也神保 裕喜楊 昊宇染田 政明服部 賢大門 寛服部 梓田中 秀和
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抄録
β-FeSi2は近赤外光のバンドギャップをもつ半導体であり、光学素子等への応用が期待されている。我々はこれまでにβ-FeSi2が基板ステップを緩和する際に、格子不整合に起因する歪み二次元ナノカーペット構造を持つことを報告してきた。
今回我々は特徴的な広がりをもつLEEDスポットを解析することでナノカーペットのモデルを提案し、逆格子点シミュレーションと実験結果との比較によってモデルの妥当性を議論する。
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© 2015 公益社団法人 日本表面科学会
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