HiPIMS法による医療用インプラントに最適なDLC成膜とパルス電源の開発

抄録

医療用インプラントは体内に埋入され、長期間の使用に耐えうるため、生体適合性及び耐久性が要求される。その為には炭素膜であり髙硬度、髙密着性、高いトライボ特性を持ったDLCコーティングが最適とされている。本研究ではさらにDLCの特性を高め、医療用インプラントの最適化を図るために、低duty比で大電力を生成する高性能のパルス電源を用いたHiPIMS法により電力とイオン化率、プラズマ密度が如何に膜性能に影響を与えるかを実証する。