2016年真空・表面科学合同講演会
セッションID: 2Cp10
会議情報
主催: 公益社団法人日本表面科学j会
会議名: 2016年真空・表面科学合同講演会
開催地: 名古屋国際会議場
開催日: 2016/11/29 - 2016/12/01
11月30日（水）
反応性スパッタリング法により堆積した窒化スズ薄膜の機械的特性
詳細
主催: 公益社団法人日本表面科学j会
会議名: 2016年真空・表面科学合同講演会
開催地: 名古屋国際会議場
開催日: 2016/11/29 - 2016/12/01
反応性スパッタリング法により，ガラス基板上に窒化スズ薄膜を作製し，その機械的特性を評価した．成膜には高周波マグネトロンスパッタリング装置を用いた．ナノインデンテーション法による機械的特性評価の結果，硬度9～12GPa，弾性定数190～220GPaであることがわかった．
