エアロゾルデポジション法における原料粉末の影響

抄録

AD法は基板加熱を行わず熱的アシストの全く無い条件で，常温・固体状態のセラミックス微粒子が高密度，高強度に基板上に皮膜を形成する技術である．AD法によるセラミックス成膜は皮膜や基材の熱的劣化を防止することができるが、他の成膜法と比べ成膜効率が低いため成膜効率の向上が求められる．本研究では，AD法の大きな成膜要因である原料粉末が皮膜の形成に与える影響を調査した．