家庭用真空パック器を用いたシリコン表面付着微粒子の除去

抄録

部品表面に付着した微粒子を除去する技術の開発を行っている．表面にガラス球を付着させたシリコン試料にフィルムをかぶせて押圧すると，フィルムにガラス球が付着して除去される．フィルムの押圧方法として，家庭用の真空パック器を用いた．試料を除去用のポリエチレンフィルムで被い，真空パックに入れて真空排気すると，大気圧が負荷される．この方法により，0.2～1.5µmのガラス球を除去することができた．