プラズマ化学輸送法によるh-BN原子層の形成

抄録

六方晶系の2次元結晶であるh-BNはグラフェンと同様に2次元エレクトロニクスを構成する要素としてナノエレクトロニクスでの応用が期待される素材である。h-BN原子層の形成にはCuなど金属基板の高温下の触媒反応が利用される。反応のプリカーサとしてはアンモニアボラン(NH₃-BH₃)を用いる。今回、プラズマによるh-BN成膜へ向け、Ar-H₂混合ガス組成の影響を調べた。