ヘリウムイオン顕微鏡技術による試料温度・電圧制御下でのVO2膜電子相ドメイン変化の評価

抄録

ヘリウムイオン顕微鏡技術（HIM）はナノエレクトロニクス、ナノテク、バイオなどの分野で観察、加工、材料物性制御などに広く用いられている。HIMはSEMに比べ材料コントラストが高いため同一材料でも相の異なる領域を識別して観察できるという長所がある。ここでは試料温度・電圧制御下で酸化物エレクトロニクス材料であるVO₂膜の数um～100nm寸法の電子相ドメイン変化をHIM観察・評価した結果を述べる。