検出角 70°の広角まで対応可能なXPS平均脱出深さの経験式の提案

抄録

Ｘ線光電子分光(XPS)等の電子分光にて平均脱出深さ（MED）を簡便かつ定量的に求める事は，その観察深さを迅速に評価する上で重要である。MEDの評価法として幾つかの経験式があるが，計測系の立体配置やXPSの非対称パラメータの値によっては検出角が40°を越えると経験式の誤差が大きくなる。そこで今回XPSだけでなく硬Ⅹ線XPSを含めて70°の広角まで使用可能な経験式を提案した。