絶縁膜/半導体界面制御と電気的特性

抄録

新しい材料を用いた半導体デバイスを創り出すためには、新たな材料によって形成された未知なる界面を制御する必要がある。その界面制御のためには、新たな材料の個々の物性および形成された界面の特性を正確に理解し、プロセスにフィードバックすることが重要となる。本講演では、絶縁膜/IV族半導体、絶縁膜/III-V族半導体の界面制御、それらの界面特性が電界効果トランジスタの特性に及ぼす影響について述べる。