温水駆動による積層式Knudsenポンプの試作

抄録

熱駆動型ポンプとして，径0.1 μm程度の孔を持つ多孔膜の裏表に温度差を与えて生じる熱遷移流を利用するKnudsenポンプがある．本研究では，温水の熱を利用して膜の裏表に温度差を与え，流れを誘起するユニットを多段重ねた積層型Knudsenポンプを試作した．一例として70 ℃程度の温水を用いると，大気圧下で最大圧力差1.5 kPa，最大流量500 sccmの性能を安定して発揮するポンプを実現できた．