超高真空における直流高電圧放電と電子刺激脱離の関係性

抄録

電子顕微鏡や次世代放射光源などに不可欠となる高輝度電子源では、超高真空中に配置された陰極と陽極間に高電圧を長時間安定に印可することが求められている。電子銃の高電圧コンディショニング結果から、放電電圧が放電回数に対してほぼ連続的に増加するなどの現象を無矛盾に説明できる電子刺激脱離によるイオンの発生現象に注目し、超高真空における直流放電発生およびコンディショニング進行のメカニズムについて考察した。