赤外反射吸収分光法における下地膜厚に依存する最表面増感の定量的考察

抄録

金属表面における吸着種などを赤外反射吸収分光法で検出する際、斜め入射により検出感度の大きな増大が得られるが、金属表面直上から離れるに従い検出感度が低下することが知られている。シリコン薄膜最表面の水素を検出対象とし、薄膜成長による下地厚さの増加に伴う最表面検出感度の低下を実験的に観測し、これを定量的に解析するモデルを構築した。