非接触原子間力顕微鏡のエネルギー散逸計測を利用したSi(111)-(7×7)表面の隠れた原子変位の検出

抄録

非接触原子間力顕微鏡法（nc-AFM）を活用すれば、試料表面と探針の間で起こるエネルギー散逸を原子スケールで検出できる。本研究では、Si(111)-7×7表面を試料として、平均高さ一定モードで探針と試料間距離を変えながら、nc-AFMのトポ像、エネルギー散逸像、電流像を同時観察した。その結果、探針接近時の散逸像に、トポ像には見えないSi吸着原子の変位の痕跡と解釈できる変化を捉えたので報告する。