多元系化合物・太陽電池研究会 年末講演会論文集
Online ISSN : 2758-2302
2018
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PLD法によるCZTS薄膜とターゲットとの組成比の関係
後藤 優太小谷 昌大沈 用球脇田 和樹
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p. 27-30

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抄録

Cu2ZnSnS4 (CZTS) polycrystalline target having a uniform composition were prepared by solid phase reaction method with CZTS polycrystal, ZnS, SnS, and S powders. CZTS films were deposited on a soda-lime glass substrate using the target having Cu-poor, Zn-rich, and S-rich composition ratio by pulse laser deposition (PLD). We confirmed that composition control of CZTS polycrystalline target is effective for improving composition of CZTS thin films.

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© 2019 多元系化合物・太陽電池研究会
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