主催: 公益社団法人 応用物理学会 多元系化合物・太陽電池研究会
会議名: 平成30年度 応用物理学会 多元系化合物・太陽電池研究会 年末講演会
開催地: 東京理科大学 神楽坂キャンパス
開催日: 2018/11/30 - 2018/12/01
p. 27-30
Cu2ZnSnS4 (CZTS) polycrystalline target having a uniform composition were prepared by solid phase reaction method with CZTS polycrystal, ZnS, SnS, and S powders. CZTS films were deposited on a soda-lime glass substrate using the target having Cu-poor, Zn-rich, and S-rich composition ratio by pulse laser deposition (PLD). We confirmed that composition control of CZTS polycrystalline target is effective for improving composition of CZTS thin films.