Si電界放出型アレイの基礎特性 : 材料・部品および周辺技術関連 : 情報ディスプレイ

抄録

FEDは、ディスプレイとして冗長度が非常に高く、高速駆動、低消費電力などの特徴を有していることから注目を集めている。カソード材料では、Si,Mo,Wなどについて一般に研究されている。本研究では、n型Siウェハを用いて電界放出型エミッタを作製した。Siのエッチングは、等方性エッチングである酸溶液、異方性であるアルカリ溶液と2通りの溶液をそれそれ用いた。また、作製したエミッタについて電界放出電流を測定した。