FEAの電界電子放出特性

抄録

電界放出型ディスプレイ(FED)は現在までに数例のパネルが試作されており、携帯型情報機器等のディスプレイとして実用化に向け大変注目を集めている。本研究ではフォトレジスト加工により、金属で覆われたn形シリコンの電界放出アレイ(FEA)を作製した。また交流逆電界法を用いることにより、電界放出により放出された電子のエネルギー分布を測定した。