テレビジョン学会技術報告
Online ISSN : 2433-0914
Print ISSN : 0386-4227
MR素子の応力解析とSAL膜に対する応力誘導異方性の影響
石 勉鈴木 哲広石綿 延行山田 一彦
著者情報
研究報告書・技術報告書 フリー

1996 年 20 巻 34 号 p. 17-23

詳細
抄録

SALバイアス型のMRヘッドにおける応力誘導異方性の影響について調べた。単層膜の応力のデータをもとにMR素子積層膜の応力解析を行った結果、素子高さ方向の片側端面が開放された場合、SAL膜の高さ方向に100〜300MPa程度の異方的な引っ張り応力が観察された。SAL膜に対する応力誘導異方性の影響を調べるためにR-Hカーブの計算を行った結果、素子高さ方向に300MPaの異方的な引っ張り応力がある場合、SAL膜のλ_sを+1×10^<-6>〜-2×10^<-6>の範囲に設定すれば、応力誘導異方性によるR-Hカーブの乱れを小さくできることがわかった。

著者関連情報
© 1996 一般社団法人映像情報メディア学会
前の記事 次の記事
feedback
Top