超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
1P4-9 (112^^-0)配向AlN 薄膜を用いた純横波モード共振子(ポスターセッション)
柳谷 隆彦木内 正人
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2008 年 29 巻 p. 111-112

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© 2008 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会
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