超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
1Pb1-5 円管構造SH-SAW センサに向けたc 軸平行配向ZnO 薄膜の石英ガラス管回転成膜
若林 拓也, 髙柳 真司, 柳谷 隆彦
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2020 年 41 巻 論文ID: 1Pb1-5

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