2PL ScAlN, ZnO, TiO<sub>3</sub>分極反転薄膜のBAWおよびSAWデバイス応用

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236

2PL ScAlN, ZnO, TiO₃分極反転薄膜のBAWおよびSAWデバイス応用

柳谷隆彦

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2020 年 41 巻論文ID: 2PL

DOI https://doi.org/10.24492/use.41.0_2PL

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© 2020 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会

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