超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
2E2-1 High-Frequency SH1 Mode Plate Wave Resonator on LiTaO3 Using Aluminum as Backside Electrode
Ferriady Setiawan, Michio Kadota, Shuji Tanaka
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2022 年 43 巻 p. 313-

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