超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
3J1-1 極性反転GeAlN/AlN多層膜を用いた高次モードSMR型薄膜共振子の作製と評価
関本 淳, 鈴木 雅視, 垣尾 省司
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2022 年 43 巻 p. 329-

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