超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
3Pa3-1 c軸配向GeAlN薄膜の圧電特性と分極反転膜HBAR共振子への応用
鈴木 雅視, 関本 淳, 垣尾 省司
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2022 年 43 巻 p. 365-

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