超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
3Pa3-2 36Y LiNbO3基板を用いた4 GHz厚み縦振動音響多層膜構造共振子
門田 道雄, 山下 冬子, 田中 秀治
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2022 年 43 巻 p. 367-

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