超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
3Pa3-3 Pt/Si基板上のTa2O5圧電薄膜の低レートにおける成膜と評価
松浦 佳祐, 鈴木 雅視, 垣尾 省司, 小寺 正徳, 舟窪 浩
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2022 年 43 巻 p. 369-

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