3Pb1-2 マグネトロンスパッタにおける粒子の照射方向がc軸平行配向ZnO膜の圧電性に及ぼす影響

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236

3Pb1-2 マグネトロンスパッタにおける粒子の照射方向がc軸平行配向ZnO膜の圧電性に及ぼす影響

冨山直樹, 高柳真司, 柳谷隆彦

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2022 年 43 巻 p. 413-

DOI https://doi.org/10.24492/use.43.0_3Pb1-2

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© © 2022 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会

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