超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
1P3-2 積層LiTaO3/SiO2/SiN/Si基板上のSAWデバイスにおける高次モードの抑圧
中川 亮, 小笹 茂生, 岩本 英樹, 道上 彰
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2023 年 44 巻 p. 34-

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