超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
1P3-1 分極反転SiAlN/AlN薄膜を用いた高次モードSMR型共振子
鈴木 雅視, 関本 淳, 福永 慶, 垣尾 省司
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2023 年 44 巻 p. 33-

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