2P3-7 凹構造により区分化された圧電基材上へのSAW素子アレイの作製

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236

2P3-7 凹構造により区分化された圧電基材上へのSAW素子アレイの作製

岩崎正裕, 村上直, 伊藤高廣

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ジャーナルフリー

2023 年 44 巻 p. 124-

DOI https://doi.org/10.24492/use.44.0_2P3-7

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© © 2023 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会

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