超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
2P3-6 LiTaO3/3C-SiC/Si構造におけるリーキーSAW共振特性の研究
渡邉 紀之, 垣尾 省司
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2023 年 44 巻 p. 123-

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