超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
1J2-3 超精密超音波振動研磨に関する研究
春田 響, 中野 碧, Peerapong Kasuriya, 金井 秀生, 神 雅彦
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2024 年 45 巻 p. 6-

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