表面と真空
Online ISSN : 2433-5843
Print ISSN : 2433-5835
先端追跡
[R-737] 透過電子顕微鏡によるMOFやゼオライトの観察：[R-738] プラズマエッチング中の局所電界変調による斜めエッチング
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2022 年 65 巻 10 号 p. 491

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