応用物理学会学術講演会講演予稿集

第69回応用物理学会春季学術講演会

選択された号の論文の3127件中1401～1450を表示しています

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スマートグラス用傾斜回折パターンの離型プロセス・材料に関する考察

山村龍平, 國藤裕成, 亀山開, 安田雅昭, 平井義彦

セッションID: 26p-F308-3
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1401

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熱ナノインプリントによるポリマー上PEDOT:PSS薄膜への原子ステップ形状転写

前田優斗, 金子奈帆, 大賀友瑛, 金子智, 松田晃史, 吉本護

セッションID: 26p-F308-4
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1402

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二固体の接触による斜入射Ｘ線の伝播経路の変化

中島大気, 山本篤史郎

セッションID: 22p-P04-2
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1403

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デュオプラズマトロンイオン源からの分子イオン引き出し

太田裕作, 安藝基, 宮本直樹, 和田元

セッションID: 22p-P04-3
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1404

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円筒面ガラスチャネルによる15 keV Ar⁶⁺イオンビームのガイド

高橋遼平, 風祭佑弥, 關誠晃, 本橋健次

セッションID: 22p-P04-4
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1405

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反応性ガス雰囲気下ガスクラスターイオンビーム照射を用いた表面活性化接合の検討(II)

花原総一, 竹内雅耶, 豊田紀章

セッションID: 24p-F308-1
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1406

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ガスクラスターイオンを用いたSiO₂エッチングの吸着ガス種依存性

藤原怜輝, 竹内雅耶, 豊田紀章

セッションID: 24p-F308-2
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1407

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GCIBを用いた原子層エッチングによるSi3N4膜の極薄化及びその耐圧性評価

竹内雅耶, 藤原怜輝, 豊田紀章

セッションID: 24p-F308-3
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1408

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低速Arイオン照射Si基板上のAuナノワイヤ低温成長

水谷仁美, 高廣克己

セッションID: 24p-F308-4
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1409

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c軸傾斜反転ScAlN薄膜を用いたブラッグ反射器型圧電トランス

白岩和剛, 佐藤裕友, 関崚, 柳谷隆彦

セッションID: 24p-F308-5
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1410

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電子サイクロトロン共鳴イオン源による鉄フラーレン複合イオンの合成

張宸涵, 瀬底長朗, 鈴木拓磨, 木塚智基, 本橋健次

セッションID: 24p-F308-6
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1411

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EMIM-BF₄ multi-ion sources of micromachined Si external wetted emitters with fluidic feeding-flow confinement: from microfabrication to Si etching evaluation

VANMINH LE, NGUYEN VAN CHINH, HIROKI KUWANO

セッションID: 24p-F308-7
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1412

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LIB負極表面の大気圧MeV-SIMS測定(II)

瀬木利夫, 松尾二郎

セッションID: 24p-F308-8
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1413

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ガスクラスターイオンビーム照射による有機試料スパッタ粒子中の無損傷中性分子割合測定

福永龍平, 佐野奈緒子, 瀬木利夫, 松尾二郎

セッションID: 24p-F308-9
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1414

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真空エレクトロスプレー液滴イオン衝撃による衝突痕とスパッタ体積

川瀬幹大, 常木誠之助, チェンリーチュイン, 平岡賢三, 二宮啓

セッションID: 24p-F308-10
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1415

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ArクラスターSIMS の 1 原子当りエネルギー依存マススペクトルからの分子構造情報抽出

水畑健, 盛谷浩右, 桝本哲郎, 中村知道, 乾徳夫

セッションID: 24p-F308-11
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1416

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超低軌道衛星壁面における分子線散乱挙動解析および大気抵抗計算への導入

江崎啓介, 板谷一輝, 庄田光佑, 芦田優作, 杉本紘基, 小澤宇志, 山下裕介, 西山和孝, 横田久美子, 田川雅人

セッションID: 26p-E206-1
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1417

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超音速分子線を照射したアナターゼ型TiO₂(001)表面のX線光電子分光による評価

勝部大樹, 大野真也, 高柳周平, 尾島章輝, 前田元康, 折口直紀, 小川新, 池田夏紀, 青栁良英, 甲谷唯人, K ...

セッションID: 26p-E206-2
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1418

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超音速分子線を使ったGaN表面酸化と放射光光電子分光分析

角谷正友, 坂本徹哉, 津田泰孝, 隅田真人, 吉越章隆

セッションID: 26p-E206-4
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1419

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電子サイクロトロン共鳴プラズマ中の基板ステージへの負パルスバイアス電圧印加によるプラズマ密度増加

濱口育未, ベハンシン, 笹井建典, 鈴木陽香, 豊田浩孝

セッションID: 22p-E105-1
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1420

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正負パルス電圧印加時における表面発射型プラズマ弾丸の伝播特性

松本侑, 佐々木康希, 西村侑大, 呉準席, 白藤立

セッションID: 22p-E105-2
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1421

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プラズマ活性液相化学のモデリング

村上朝之

セッションID: 22p-E105-3
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1422

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深層学習を用いた液中プラズマのOH回転温度の推定

高松周平, 井上健一, 宗岡均, 伊藤剛仁, 寺嶋和夫

セッションID: 22p-E105-4
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1423

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機械学習を用いた低温プラズマパラメータの代理モデルの構築

市川将和, 幾世和将, Chen Kuan-Lin, Wu Jong-Shinn, 浜口智志

セッションID: 22p-E105-5
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1424

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コヒーレント反ストークスラマン散乱を用いた高感度電界計測手法の開発

小池健, 宗岡均, 寺嶋和夫, 伊藤剛仁

セッションID: 22p-E105-6
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1425

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線スペクトルと連続光を含めた相対強度法によるAr-N₂アーク温度解析

竹本裕貴, 田中学, 渡辺隆行

セッションID: 22p-E105-7
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1426

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アルゴン-酸素低気圧誘導結合プラズマのOHラジカルの振動温度・回転温度の診断

山下雄也, 伊達修一, 山岡英彦, 秋葉拓也, 澁谷孝幸, 岩永敏秀, 赤塚洋

セッションID: 22p-E105-8
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1427

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カーリングプローブによるプラズマ中の電子密度計測時の温度影響

紀平侑樹, 加藤翔太, 加藤圭, 小川大輔, 中村圭二

セッションID: 22p-E105-9
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1428

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空気ストリーマ放電の電子エネルギー分布関数の空間分解計測

宮澤冬馬, 富田健太郎, 吉野彰浩, 小室淳史, 小野亮

セッションID: 22p-E105-10
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1429

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水素原子バルマーアルファ線のキャビティリングダウン吸収分光法における飽和パラメータ(Ⅱ)

伏見公花, 西山修輔, 佐々木浩一

セッションID: 22p-E105-11
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1430

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光ピンセットによる捕捉微粒子を用いたArプラズマ中の電場強度分布及び電場揺動計測(1)

鎌滝晋礼, 奥永冴京, 佐藤斗真, 富田健太郎, Pan Yiming, 山下大輔, 山下尚人, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古 ...

セッションID: 22p-E105-12
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1431

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非自己維持直流放電による窒素振動励起プラズマの加熱過程

國嶋友貴, 高島圭介, 金子俊郎

セッションID: 22p-E105-13
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1432

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電界誘起第二高調波発生を用いた電界測定における偏光依存性

中村信, 佐藤正寛, 藤井隆, 熊田亜紀子, 大石祐嗣

セッションID: 22p-E105-14
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1433

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フラットループアンテナを用いた定常高密度ヘリコンプラズマ源の低電力試験

瀬戸拓実, 近藤綾音, 江角直道, 平田真史, 東郷訓, 坂本瑞樹, 古川武留, 篠原俊二郎

セッションID: 22p-E105-15
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1434

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熱電子供給型真空アーク放電の放電電流決定機構に基づくプロセス制御（Ⅱ）

朝本雄也, 松田崇行, 濱野誉, 野間正男, 長谷川繁彦, 山下満, 占部継一郎, 江利口浩二

セッションID: 22p-E105-16
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1435

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カーリングプローブでのプラズマ中の電子密度計測における伝送線路のスプリッタの効果

加藤翔太, 加藤圭, 紀平侑樹, 小川大輔, 中村圭二

セッションID: 22p-E105-17
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1436

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大気圧ヘリウムプラズマジェットの弾丸電流の周波数依存性

大槻凌介, 青木晃大, 呉準席, 白藤立

セッションID: 22p-E105-18
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1437

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高エネルギー電磁波によるプラズマ・メタマテリアル領域の拡大とプラズマパラメータの測定

水富拓弥, 宮城茂幸, 酒井道

セッションID: 26a-P03-13
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1438

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プラズマ照射が生体細胞へ及ぼす影響の解明に向けた大気圧He/N₂グロー放電のシミュレーション

佐々木瞬, 藤田諒, 山内翔太, 内田諭, 立花孝介, 小田昭紀

セッションID: 26a-P03-14
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1439

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放電加工におけるプラズマ特性の計測

山田大将, 花岡大生, 小野伸幸

セッションID: 26a-P03-15
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1440

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プラズマ誘起欠陥の発生と修復～低温パッシベーションにおけるArイオンの効果～

布村正太, 坂田功

セッションID: 25a-E104-1
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1441

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シリコン窒化膜に形成されるプラズマダメージの機械特性評価と電気特性評価との相関に関する検討

郷矢崇浩, 久山智弘, 占部継一郎, 江利口浩二

セッションID: 25a-E104-2
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1442

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p-GaN表面の反応性ドライエッチング特性

戸田晋太郎, 野末竜弘, 神崎伯夫, 宮永和恒, 寺島雅弘, 飯田真一, 藤原康文

セッションID: 25a-E104-3
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1443

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窒化ガリウムの基板昇温時サイクルエッチング特性

南吏玖, 中村昭平, 谷出敦, 石川健治, 堤隆嘉, 近藤博基, 関根誠, 堀勝

セッションID: 25a-E104-4
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1444

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Ar/F₂プラズマとBCl₃の交互供給によるAlGaN原子層エッチングでの組成比制御

中村昭平, 谷出敦, 木村貴弘, 灘原壮一, 石川健治, 小田修, 堀勝

セッションID: 25a-E104-5
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1445

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Molecular dynamics simulation study of F-based atomic layer etching of Si

ErinJoy Capdos Tinacba, Satoshi Hamaguchi

セッションID: 25a-E104-6
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1446

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C₄F₈/SF₆ガス変調サイクルにおいてバイアス印加位相がエッチング形状に及ぼす影響

吉江泰斗, 堤隆嘉, 石川健治, 近藤博基, 関根誠, 堀勝

セッションID: 25a-E104-7
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1447

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質量分析法を用いた二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O_２パルスプラズマ中イオンの時分解計測

関悠斗, 加藤閣人, 久保井宗一, 鈴木陽香, 豊田浩孝

セッションID: 25a-E104-8
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1448

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二周波重畳容量結合型プラズマから電極へ入射する高速粒子のイメージング法を用いた角度分布計測

市川景太, 鈴木陽香, 豊田浩孝

セッションID: 25a-E104-9
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1449

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高アスペクトホールエッチングにおけるストライエーションの形成メカニズム

大村光広, 橋本惇一, 足立昂拓, 近藤祐介, 石川勝朗, 阿部淳子, 酒井伊都子, 林久貴, 関根誠, 堀勝

セッションID: 25a-E104-10
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1450

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