精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
展望
MEMS商用化技術の現状と今後の展望
澤田 廉士, 日暮 栄治
著者情報
キーワード: mems, commercialization, products, micro-sensors, micro-mirrors, micromachining, design
ジャーナル フリー

2010 年 76 巻 5 号 p. 491-497

詳細
PDFをダウンロード (4083K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2010 公益社団法人 精密工学会
次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
前身誌

精密機械

精密工学会誌論文集

このページを共有する
feedback
 Top