無酸素銅材の表面に及ぼす希薄NaCl電解水の影響
公開日: 2012/01/13 | 72 巻 12 号 p. 1499-1504
佐藤 運海, 竹ノ内 敏一, 若林 信一, 佐藤 元太郎
輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第1報)
公開日: 2012/01/13 | 72 巻 7 号 p. 878-883
吉岡 淑江, 三好 隆志, 高谷 裕浩, 高橋 哲
斜入射スパッタリング法による特異な微細構造を有する金属薄膜の形成
公開日: 2012/01/13 | 72 巻 7 号 p. 919-923
井上 尚三, 生津 資大, 小寺澤 啓司
共焦点式レーザ変位計における閾値を使った反射光強度分布フィルタリングと加工面形状測定の誤差抑制効果
公開日: 2012/01/13 | 72 巻 5 号 p. 619-625
上條 恵右, 雪村 達祝, 水井 雅彦, 水垣 善夫, 吉川 浩一
平面リニアモータの精度校正に関する研究(第1報)
公開日: 2012/01/13 | 72 巻 12 号 p. 1542-1546
陳 欣, 高増 潔, 小谷 潔, 石田 敏博
精密工学会誌
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