精密工学会誌論文集
Online ISSN : 1881-8722
Print ISSN : 1348-8724
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論文
イオンビーム支援蒸着法で形成した窒化炭素薄膜の破壊特性
鈴木 崇雅, 松原 安孝, 山本 右, 松室 昭仁
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2005 年 71 巻 3 号 p. 352-357

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抄録
著者らはイオンビーム支援蒸着法により形成したC-N薄膜の機械的特性や微細組織について明らかにし, C-N薄膜が優れた摩擦特性を持つことが分かった. 本研究では実用に際して必要なC-N薄膜およびTiN薄膜を中間層にしたC-N薄膜の引張試験や破壊靭性値により破壊特性を明らかにした. また, スクラッチ試験で中間層を用いたC-N薄膜の剥離形態を明らかにした.
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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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