原子間力顕微鏡を用いた微細レジストドットパターンの疲労解析

抄録

原子間力顕微鏡(AFM)の探針から微細レジストパターンに荷重を加えて破壊することで，パターンの破壊荷重を定量測定できる。直径が160nmであり，高さが593nmであるドット形状パターンに．一定荷重を繰り返し加えることで疲労破壊を引き起こした。疲労がない場合のパターンの破壊荷重は約90nNであった。しかしながら，疲労を加えた場合は,1.,3nN-f53.1nNの低荷重でもパターン破壊が生じた。荷重を105nNまで増加させた場合，顕著に破壊が生じた。本手法により，パターン内部に蓄横される疲労を評価できることを確認した。