電場中でイオン照射したアルミナ中の照射欠陥集合体の解析

抄録

電場中で100 keVヘリウムイオン照射したアルミナ中では格子間型転位ループに加えて、一部の領域に針状欠陥集合体が形成された。また、針状欠陥集合体領域からはAl金属コロイドが析出した。この、Al金属コロイドおよび針状欠陥集合体の構造と形成過程に関して検討を行った。