CVDダイヤモンドの化学構造に及ぼす重水素、ヘリウム照射効果

抄録

ミリ波帯高周波 (RF) プラズマ加熱装置のトーラス入射口用真空窓 (トーラス窓) の候補材として人工ダイヤモンドが考えられている。これに高エネルギーイオン (重水素、ヘリウム) を打ち込み、その化学構造変化及び入射重水素の存在状態をX線光電子分光法 (XPS) 、昇温脱離法 (TDS) にて調べた。