グラファイト及びタングステン堆積層における水素捕捉量の測定

抄録

RF水素プラズマを利用してグラファイト及びタングステンをスパッタリングさせ堆積層を作製し、SEMによる表面観察、作製した堆積層からの水素捕捉量の定量を行った。