Cr量の異なる耐食合金の低温プラズマ酸化による温度依存性の評価

抄録

Crの異なる耐食合金を用いて、減圧酸素中の低温プラズマとガス平衡の酸化挙動の温度依存性の違いを評価した。酸化膜成長の時間変化及び温度依存性は、酸化膜の保護性支配元素であるCrの酸化膜内層への濃縮及び気相への逃散の動的平衡反応モデルの観点から解釈出来た。