抄録
100keV程度の低エネルギーイオンビームを用いた照射実験のための簡便なビームプロファイルモニターを試作し, その特性について評価を行った.
基盤とするガラス上に金属箔膜をメッシュ上に形成し, その上に蛍光体材料を塗布し製作した. 実験に用いる照射試料の後方に配置した蛍光板ガラスにビームを直接照射し, その様子についてCCD撮像素子, フォトダイオードを使った観測を行った. メッシュ経由で取得される電流量, 発光量と照射粒子との関係を考察し, 低エネルギーイオンビーム計測に対する構造の最適化を試みた.
