イオンビームグラフト重合法を用いたポリマーへの細線描画実験

抄録

イオンビームグラフト重合法を用いた機能性ポリマーの作成に関する研究を行っている．現在この手法を用いて何らかの素子をポリマー上に作製することを考えている．そこで，グラフト重合領域を細線化し，どの程度の太さ，大きさで描画ができるかを実験的に検討する．ポリマー上に細線部を形成するために，マスク法及びイオンビーム走査法を考えている．