東北大学マイクロビームシステムの高性能化

抄録

マイクロビーム分析法は、優れた局所分析ツールであり、環境、医学、生物学等の分 野で幅広く応用されている。東北大学のマイクロビーム分析システムは2002年に開発 され、種々の分野に用いられてきた。今回、縮小率の向上、寄生磁場の低減、加速器 の高性能化を図ることにより、ビーム径、ビーム強度とも大幅に改善し、より高分解 能での分析が可能となったので報告する。